28 мая 2014 г.

Руководитель семинара – дф-мн Рухадзе Анри Амвросьевич

1. НЕКЛЮДОВА П.А. (МГУ)
   
   ВЛИЯНИЕ ВНЕШНИХ УСЛОВИЙ НА ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ И ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ ИНДУКТИВНОГО ВЧ РАЗРЯДА
   
   Проведены систематические экспериментальные исследования влияния внешних условий разряда на величины и пространственное распределение параметров плазмы (концентрации, эффективной температуры электронов, эквивалентного сопротивления плазмы) технологического индуктивного ВЧ источника плазмы в диапазонах давления 1•10^-3 – 1 Тор инертных газов (гелия, неона, аргона или криптона), мощности ВЧ генератора 0 – 500 Вт при частотах 2, 4 и 13.56 МГц. индукции внешнего магнитного поля 0 – 50 Гс. Экспериментальные данные сопоставлены с результатами численного моделирования физических процессов в индуктивном ВЧ разряде. Проведен анализ влияния емкостной составляющей, рабочей частоты, давления и рода инертного газа, величины внешнего магнитного поля на величины и пространственное распределение параметров плазмы, эффективность поглощения ВЧ мощности плазмой индуктивного ВЧ разряда.
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   

Начало в 10.30, КОНФЕРЕНЦ-ЗАЛ КОРПУСА No.1

Если Вы хотите принять участие в работе очередного заседания семинара, позвоните, пожалуйста, по телефону
8 (499) 135 02 47 не позже 15.00 предыдущего понедельника.
Можно также по электронной почте (mailto:lena@fpl.gpi.ru)
Для заказа пропуска необходимо сообщить ФАМИЛИЮ, ИМЯ, ОТЧЕСТВО (ПОЛНОСТЬЮ), МЕСТО РАБОТЫ (СОКРАЩЕННО).
Заявки принимаются не позже 14.00 предыдущего семинару понедельника.
ВНИМАНИЕ!
Заявки необходимо присылать на КАЖДОЕ посещение семинара.