Аннотация:
Рассмотрена связь нанотехнологии и метрологии нанодиапазона - нанометрологии. Показано, что развитие нанотехнологии невозможно без опережающего развития нанометрологии и ее главной составляющей - метрологии линейных измерений нанодиапазона. Для обеспечения единства линейных измерений в нанодиапазоне в России созданы основы метрологического обеспечения таких измерений, включая методы и средства воспроизведения и передачи размера единицы длины в указанном диапазоне с абсолютной привязкой к первичному эталону единицы длины - метру.
(скачать PDF)

Аннотация:
Современные методы измерений линейных перемещений используют лазерную интерферометрию. При этом измерение сверхмалых (менее 100 нм) линейных перемещений возможно только с помощью дополнительного измерения фазы лазерного излучения. Приведена общая схема таких измерений и описана конструкция лазерного интерферометра-фазометра, реализующая эту схему. Диапазон измерений такого интерферометра-фазометра составляет от 1 нм до 10 мм при погрешности измерений лежащей в диапазоне 0.5-3 нм.
(скачать PDF)

Аннотация:
Проведен анализ существующих линейных мер микрометрового и нанометрового диапазонов и их использования в растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии. Показано, что только одна мера (МШПС-2.0К) имеет в качестве аттестованного размера ширину линии нанометрового диапазона. Описана конструкция меры МШПС-2.0К и технология ее изготовления. Применение такой меры в растровой электронной и атомно-силовой микроскопии переводит эти сложные приборы из разряда наблюдательных в разряд измерительных приборов.
(скачать PDF ч.I) (скачать PDF ч.II)

Аннотация:
Рассмотрено формирование изображения рельефных прямоугольных и трапециевидных структур микрометрового и нанометрового диапазонов в растровом электронном микроскопе. Представлены методы калибровки растровых электронных микроскопов с помощью таких структур, которые включают в себя определение линейности сканирования исследуемого образца, определение увеличения микроскопа и размера (диаметра) его электронного зонда. Проведен анализ влияния различных механизмов генерации вторичных электронов на точность определения размера зонда. Показано, что все современные растровые электронные микроскопы имеют диаметры зондов не менее 20-30 нм.
(скачать PDF)

Аннотация:
Рассмотрено формирование изображения рельефных трапециевидных структур микрометрового и нанометрового диапазонов в атомно-силовом микроскопе. Представлены методы калибровки атомно-силовых микроскопов с помощью таких структур, которые включают в себя определение линейности и ортогональности сканирования исследуемого образца, определение цены деления всех трех осей сканирования и радиусов острий кантилеверов. Такая калибровка микроскопов позволяет проводить на них измерения линейных размеров рельефных структур микрометрового и нанометрового диапазонов.
(скачать PDF)